1.氮气（N₂）
氮气是空气中含量蕞多的气体，约占空气总体积的78%。高纯氮气在半导体制造过程中用作保护气和清洗气，以防止半导体材料受到氧化或污染。此外，高纯氮气还广泛应用于金属热处理、光纤预制棒制造等领域。
2.氧气（O₂）
高纯氧气在医疗、金属焊接和切割、航空航天等领域有着广泛应用。在医疗领域，高纯氧气用于治疗缺氧性疾病和辅助呼吸；在金属焊接和切割中，高纯氧气与乙炔等可燃气体混合使用，提供高温火焰；在航空航天领域，高纯氧气用于火箭发动机的助燃剂。
3.氩气（Ar）
氩气是一种惰性气体，化学性质稳定，不易与其他元素发生反应。高纯氩气在半导体制造中用作保护气和清洗气，以保证生产过程的洁净度。此外，高纯氩气还用于焊接、金属冶炼、光纤通信等领域。
4.氢气（H₂）
高纯氢气在石油化工、电子工业、新能源开发等领域具有重要地位。在石油化工中，高纯氢气用于合成氨、甲醇等化学品；在电子工业中，高纯氢气用于半导体制造和集成电路生产；在新能源开发中，高纯氢气是燃料电池的重要原料。
5.氦气（He）
是一种无色的惰性气体，放电时发深黄色的光。在常温下，它是一种极轻的无色、无臭、无味的单原子气体。氦气是所有气体中蕞难液化的，是唯 一不能在标准大气压下固化的物质。氦的化学性质非常不活泼，一般状态下很难和其他物质发生反应。氦是宇宙中第二蕞丰富的元素，在银河系占24％。
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